光學元件、壓力感測元件以及壓力感測裝置

Abstract

一種光學元件，包括一光源、至少一共振結構以及一包覆體。光源係提供一寬頻光予共振結構。共振結構係由多個半導體柱狀結構沿著單一方向間隔排成一列，且各半導體柱狀結構的長度以及寬度小於共振結構的共振波長。包覆體用以完全包覆共振結構，並在受到一外力施加時，致使所述共振結構發生對應於外力的形變。另外，一種壓力感測元件以及壓力感測裝置亦被提出。