標題: | 氣體感測器封裝結構 |
作者: | 邱俊誠 蔡尚瑋 郭光哲 楊自森 |
公開日期: | 1-十一月-2018 |
摘要: | 一種氣體感測器封裝結構,包含一氣體感測器及一電性接著單元。該氣體感測器包括一基板、一絕緣層單元,及一感測層。該基板界定出至少一氣體感測槽,並具有一第一面、一第二面,及與該至少一氣體感測槽連通的第一開口單元與第二開口單元。該絕緣層單元設置於該基板的該第二面並封閉該第二開口單元。該感測層設置於該絕緣層單元並裸露於該至少一氣體感測槽。該電性接著單元與該感測層電連接,並包括多個設置於該絕緣層單元的電性支撐塊。 |
官方說明文件#: | H01L023/10 H01L023/31 H01L027/06 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/151492 |
專利國: | TWN |
專利號碼: | 201839919 |
顯示於類別: | 專利資料 |