應用於無線感測網路之超低耗能無線微感測模組的設計與製作---子計畫一：靜電式微電源供應器之設計及製作(I)

Abstract

可攜式或遠距使用(remote)的電子產品或系統的電源除了由電池來供應外，目前 國外許多學者正嘗試以功率微機電（power MEMS）的技術，將各種化學能或動 能轉換成電能，以發展成為微型整合電源供應(micro integrated power supply)。本 計畫採用靜電式的動能-電能轉換方式，已於前一年度完成系統模擬及設計出輸 出功率20μW 的電源供應器，並完成了第一代元件的製作及測試。後續計畫仍以 靜電式的微機電能量轉換器為主，除改善第一代元件的設計及製程缺失外，將著 重於大幅增加元件的可變電容值，在針對自然界120 Hz, 2.25 m/s2 的振動源以及 3.3 V 輔助電源的條件下，於1 cm2 的晶片面積上設計出一淨輸出超過200 μW 的 電源供應器。此外，本計畫續期亦將開始探討關於駐極體式能量轉換器中的設計 及材料問題，以作為後續不需輔助電池的獨立電源產生器研發的基礎。這些電源 供應器可以和系統中其他的電源管理、信號處理及感測器電路整合，而形成一永 續操作的智慧型微感測系統。