標題: 微機械邏輯閘之設計、製作及測試
Design, Fabrication and Testing of Mems Logic Gates
作者: 陳宗麟
Chen Tsung-Lin
交通大學機械工程系
關鍵字: 微機電;邏輯閘;漏電流;可攜式裝置
公開日期: 2006
摘要: 隨著近年來可攜式裝置(Mobile devices)的盛行,其續航能力的要求提高,故半導體元件一直存在 的漏電流及偏壓電流功率損耗問題也逐漸被重視。相關的研究指出微波微機械切換器(RF MEMS Switches)具有低耗能(low power consumption)、高絕緣性(high isolation )、低耗損(low insertion loss)、 線性特性、可批次製造…等優點,因而被視為可有效解決半導體元件漏電流的問題。然而,微波微機 械切換器僅具開關(on/off)功能,其應用不若傳統之IC 邏輯閘方便,此限制使得微波微機械切換器在 與傳統數位邏輯線路相結合時,增加許多困擾。 本計畫提出了全新發明、設計的微機械邏輯閘,此元件結合微機械切換器的優點與IC 邏輯閘的 功能。其目的在於當微機械邏輯閘與傳統數位邏輯線路相結合時,能不需更改原來的邏輯線路,直接 與傳統IC 邏輯閘相替換,並降低線路系統的漏電流。微波微機械切換器,因具降低漏電流的優點, 已儼然成為微機電研發的明日之星。因此,我們預期此微機械邏輯閘將比目前的微波微機械切換器更 容易且廣泛的被使用。 本計畫目前的研發進度包括:(1)完成微機械邏輯閘的設計雛型,並以軟體模擬驗證其可行性。(2) 通過交通大學審核,國內、外專利委由律師申請中。(3)完成微機電製作的先期製程(pilot run)及後續製 程的修正。 未來進度包括:(1)完成微機械邏輯閘製作。(2)元件功能、特性的量測。(3)微機械邏輯閘製程與 IC 半導體製程整合。
官方說明文件#: NSC95-2221-E009-015
URI: http://hdl.handle.net/11536/89341
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=1301697&docId=240095
顯示於類別:研究計畫