標題: | 氣化氫氟酸在奈米金氧半電晶體之應用及其設備之開發(II) Processes and System Development of HF-Vapor for Nano Mosfets' Application(II) |
作者: | 趙天生 CHAO TIEN-SHENG 交通大學電子物理系 |
公開日期: | 2006 |
官方說明文件#: | NSC95-2221-E009-272 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/89739 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=1309496&docId=241986 |
顯示於類別: | 研究計畫 |