電子迴旋共振他學氣相沈積系統之晶片座設計研發與製作

標題:	電子迴旋共振他學氣相沈積系統之晶片座設計研發與製作 ECR-CVD Wafer Holder Design. Development and Manufacture
作者:	張國明 CHANG KOW-MING 交通大學電子工程研究所
公開日期:	2002
官方說明文件#:	NSC91-2622-E009-020-CC3
URI:	http://hdl.handle.net/11536/92817 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=730562&docId=137829
顯示於類別：	研究計畫