高頻振動模式疊層壓電微致動元件材料與製程研究(II)

標題:	高頻振動模式疊層壓電微致動元件材料與製程研究(II) Material and Process Development of Vibrational Multilayered Microactuator of Piezoelectric Thick Film(II)
作者:	陳三元 CHEN SAN-YUAN 國立交通大學材料科學與工程學系
公開日期:	2000
官方說明文件#:	NSC89-2218-E009-049
URI:	http://hdl.handle.net/11536/93485 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=597235&docId=112544
顯示於類別：	研究計畫