高頻振動模式疊層壓電微致動元件材料與製程研究(II)

Title:	高頻振動模式疊層壓電微致動元件材料與製程研究(II) Material and Process Development of Vibrational Multilayered Microactuator of Piezoelectric Thick Film(II)
Authors:	陳三元 CHEN SAN-YUAN 國立交通大學材料科學與工程學系
Issue Date:	2000
Gov't Doc #:	NSC89-2218-E009-049
URI:	http://hdl.handle.net/11536/93485 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=597235&docId=112544
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APA	陳., & CHEN S. (2000). 高頻振動模式疊層壓電微致動元件材料與製程研究(II). https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=597235&docId=112544.
Bibtex	@article{2000, title={高頻振動模式疊層壓電微致動元件材料與製程研究(II)}, author={陳三元 and CHEN SAN-YUAN}, journal={https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=597235&docId=112544}, year={2000}, url={https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/93485}, }