隨機記憶體用超薄氧化鉭介電薄膜電容之研發(II)

Title:	隨機記憶體用超薄氧化鉭介電薄膜電容之研發(II) Ultra Thin Ta/sub 2/O/sub 5/ Film Capacitor for DRAM(II)
Authors:	林鵬 LIN PANG 國立交通大學材料科學與工程學系
Issue Date:	2000
Gov't Doc #:	NSC89-2218-E009-088
URI:	http://hdl.handle.net/11536/93728 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=597424&docId=112583
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APA	林., & LIN P. (2000). 隨機記憶體用超薄氧化鉭介電薄膜電容之研發(II). https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=597424&docId=112583.
Bibtex	@article{2000, title={隨機記憶體用超薄氧化鉭介電薄膜電容之研發(II)}, author={林鵬 and LIN PANG}, journal={https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=597424&docId=112583}, year={2000}, url={https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/93728}, }