標題: | 次波長表面浮雕光柵光學元件的製作及運用 Fabrication and Applications of Sub-Wavelength Surface-Relief Optical Grating Devices |
作者: | 謝漢萍 SHIEH HAN-PING DAVID 交通大學光電工程研究所 |
關鍵字: | 表面浮雕光柵;向量繞射理論;次波長;電子束;直接寫入;Surface-relief grating;Vector diffraction theory;Sub-wavelength;E-bean;Direct write |
公開日期: | 1999 |
官方說明文件#: | NSC88-2215-E009-011 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/94243 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=418388&docId=74233 |
顯示於類別: | 研究計畫 |