標題: 單晶之CVD薄膜和融化成長法製程中的不穩定熱流與使其穩定之研究---子計畫一:水平CVD單晶成長之不穩定熱流實驗與數值模擬研究(I)
Experimental and Numerical Study of Unstable Flow and Heat Transfer in Horizontal CVD Growth of Single Crystal(I)
作者: 林清發
LIN TSING-FA
國立交通大學機械工程學系
關鍵字: 薄膜單晶;熱浮力;慣性力;不穩定對流;渦流結構;化學蒸鍍法;Thin film single crystal;Inertia force;Unstable flow;Buoyancy;Vortex;CVD
公開日期: 1996
官方說明文件#: NSC85-2212-E009-031
URI: http://hdl.handle.net/11536/95780
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=230684&docId=41959
顯示於類別:研究計畫