製造有機電子元件的裝置及方法

Abstract

本發明提供一種製造有機電子元件的裝置和方法,該裝置包含一基板、一塗佈裝置、一第一加熱裝置以及一第二加熱裝置,其中該第一加熱裝置加熱該基板,該塗佈裝置將該有機電子元件的一膜材塗佈於該基板上,且該第二加熱裝置係配置於與該第一加熱裝置不同的位置並加熱該膜材。