同步輻射X光光刻術發展之可行性評估---子計畫二：同步輻射X光光罩製作

dc.contributor.author	蘇翔	en_US
dc.contributor.department	國立交通大學電子工程學系	zh_TW
dc.date.accessioned	2014-12-13T10:39:03Z
dc.date.available	2014-12-13T10:39:03Z
dc.date.issued	1996	en_US
dc.description.sponsorship	行政院國家科學委員會	zh_TW
dc.identifier.govdoc	NSC85-2745-P009-001	zh_TW
dc.identifier.uri	https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=223377&docId=40053	en_US
dc.identifier.uri	https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/96028
dc.language.iso	zh_TW	en_US
dc.title	同步輻射X光光刻術發展之可行性評估---子計畫二：同步輻射X光光罩製作	zh_TW
dc.type	Plan	en_US

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