分子化合物合成無機材料之新方法(I)
Abstract
本計畫將繼續本研究室之研究, 嘗試以分子化合物為前驅物,合成無機材料. 重點有以下列四點:一. 合成及鑑定新化合物, 以可能成做無機材料前驅物者為目標.如含第五及六族過渡金屬-氮雙鍵之有機亞�類錯合物及金屬-氮參鍵之氮化合物,多矽有機金屬化合物等等.二. 從新合成之錯合物中選擇較合適者以為化學氣相沉積反應之前驅物,以成長薄膜. 如金屬氮化物, 氧化物, 碳化物薄膜等等.三. 嘗試以分子化合物為前驅物, 合成無機粉末材料.四. 化學氣相沉積中所產生的氣體產物之分析,以進一步瞭解前驅物分解之反應途徑.
Description
Keywords
過渡金屬有機亞胺類化合物 , 過渡金屬氮化合物 , 聚矽有機金屬 , 化學氣相沈積 , 金屬氮化物薄膜 , 金屬氮化物粉末 , 金屬氧化物粉末 , 碳化矽薄膜 , 前驅物 , 分解 , Transition metal organoimido complex , Transition metal nitrido complex , Organopolysilane , Chemical vapor deposition , Metal nitride thin film , Metal nitride powder , Metal oxide powder , Silicon carbide thin film , Precursor , Decomposition