一種壓力感測元件及其陣列

Abstract

一種壓力感測元件，包括：有機電晶體、壓力感測層以及第一電極，該有機電晶體具備：射極；有機層；具有孔洞的柵極；以及集極，並使該有機層夾置於該射極和該集極之間；該壓力感測層係形成於該有機電晶體上，使該集極夾置於該有機層和該壓力感測層之間；而該第一電極係形成於該壓力感測層上，使該壓力感測層夾置於該集極和該第一電極之間。由於壓力感測元件之主動區面積係由各電極所互相重疊的面積決定，因此，可藉由縮小電極之線寬，而將壓力感測元件之面積予以縮小。