一維鈦金屬奈米結構及其製造方法

Abstract

一種一維鈦金屬奈米結構及其製造方法，使用化學氣相沉積方式，並利用反應溫度300~900℃，沉積溫度為200~850℃，載流氣體之流量0.1~50sccm，反應時間5~60小時，將鈦金屬與四氯化鈦反應完成後，即可於耐溫基材上生成一維鈦金屬奈米結構，一維金屬奈米結構可包含鈦奈米線、鈦奈米帶、花狀鈦奈米線、鈦奈米柱、鈦奈米管以及鈦金屬與二氧化鈦核殼結構之不同型態，且可以很緻密的成長於耐溫基材上，而本發明的製作不需要藉由複雜的微影蝕刻技術，不用額外合成模板，也沒有配製溶液及混漿塗膜等繁雜步驟，藉此可大幅降低製作成本及縮短製作流程，並具有可以放大製程的特點。