製程模擬中離子植入程式的平行化

郭雙發

製程模擬中離子植入程式的平行化

dc.contributor.author	郭雙發	en_US
dc.contributor.department	國立交通大學電子工程學系	zh_TW
dc.date.accessioned	2014-12-13T10:39:09Z
dc.date.available	2014-12-13T10:39:09Z
dc.date.issued	1996	en_US
dc.description.abstract	本研究係延續以往的專題計畫:"離子植入蒙地卡羅程式之向量化",及"波茲曼傳輸方程式法在積體電路製程模擬上的應用"而提出.在蒙地卡羅程式中,因為各個離子的行徑彼此獨立相互不相干,非常適合於向量化及平行計算,吾人並且已有初步的成果,今後將在幾個重點上再作深入的研究,以便得到更好的平行計算效果. 首先是亂數產生器的平行化,使每一處理器均能獨立地工作,而各處理器間的亂數不至相關聯及重疊.其次是將吾人所發展的局部電子能量損失模式對不同能量及入衝參數的繁雜積分計算予以平行化.在波茲曼傳輸方程式法方面, 吾人將首先就現有的程式架構重新安排,將各動量狀態間轉移離子個數的計算,予以平行化. 尤其是將程式中需要大量使用數值積分的部份進行平行計算.此外對於各種原子際電位模式的散射截面積的數值積分算亦予以平行化.本計畫中,吾人所要使用的工具是平行虛擬機,它是一種利用網路連接,可將多臺工作站同時進行分散式計算的軟體.	zh_TW
dc.description.sponsorship	行政院國家科學委員會	zh_TW
dc.identifier.govdoc	NSC85-2215-E009-059	zh_TW
dc.identifier.uri	https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=234635&docId=43073	en_US
dc.identifier.uri	https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/96150
dc.language.iso	zh_TW	en_US
dc.subject	離子植入	zh_TW
dc.subject	蒙地卡羅模擬	zh_TW
dc.subject	波茲曼傳輸方程式法	zh_TW
dc.subject	平行計算	zh_TW
dc.subject	亂數產生器	zh_TW
dc.subject	平行虛擬機	zh_TW
dc.subject	Ion implantation	en_US
dc.subject	Monte Carlo simulation	en_US
dc.subject	Boltzmann transport equation	en_US
dc.subject	Parallel computing	en_US
dc.subject	Random number generator	en_US
dc.subject	PVM	en_US
dc.title	製程模擬中離子植入程式的平行化	zh_TW
dc.title	Parallelization of Ion Implantation Programs in Process Simulations	en_US
dc.type	Plan	en_US

Files

License bundle

Now showing 1 - 1 of 1

Name:: license.txt
Size:: 1.71 KB
Format:: Item-specific license agreed to upon submission
Description:

Download

Collections

研究計畫;;Research Plans