光學元件中微透鏡與微孔自我對準的製作方法

Abstract

本發明係揭露一種光學元件中微透鏡與微孔自我對準 的製作方法，其係在一透明基板上之不透明薄膜中製作微 孔與環型孔，再以背向曝光自我對準技術將微孔與高分子 材料所構成之微透鏡精確地整合，不需任接合步驟，且能 以較習知技術更為簡單的方式，藉由一連貫之批次生產製 造流程將微透鏡與微孔精確地對準整合。由於微孔與環型 孔屬於同心圓結構，且為同一步驟製作而成，因此藉由背 向曝光方法，即能將微透鏡與微孔精確地對準整合。利用 本發明製作出的微透鏡與微孔之整合結構，在光學存取或 光學測量裝置應用上，可有效提高其光學解析度與效能。