斜め堆積を用いて生成されたナノ構造薄膜およびその方法
| dc.citation.patentcountry | JPN | zh_TW |
| dc.citation.patentnumber | 5621955 | zh_TW |
| dc.contributor.author | チア－フア チャン | en_US |
| dc.contributor.author | チン－シェン ヤン | en_US |
| dc.contributor.author | チン－フア，チュ | en_US |
| dc.contributor.author | ペイ－チェン ユー | en_US |
| dc.contributor.author | ハオ－チュン クオ | en_US |
| dc.date.accessioned | 2014-12-16T06:16:22Z | |
| dc.date.available | 2014-12-16T06:16:22Z | |
| dc.date.issued | 2014-10-03 | en_US |
| dc.identifier.govdoc | C23C014/24 | zh_TW |
| dc.identifier.govdoc | B82B003/00 | zh_TW |
| dc.identifier.govdoc | C23C014/30 | zh_TW |
| dc.identifier.govdoc | C23C014/58 | zh_TW |
| dc.identifier.uri | https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/105798 | |
| dc.language.iso | zh_TW | en_US |
| dc.title | 斜め堆積を用いて生成されたナノ構造薄膜およびその方法 | zh_TW |
| dc.type | Patents | en_US |
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