表面親疏水性對熱汽泡熱力行為影響之研究

Abstract

本研究計畫擬針對具不同表面親疏水性之平坦表面或表面上具不同微結構時，施以一(脈衝式) 熱通量，觀察不同表面親疏水性及表面微結構對熱汽泡成長過程之影響。關於前項，計畫中擬運用 矽晶圓表面、二氧化矽表面以及晶圓表面施以塗層來進行實驗研究。本計畫也將配合微結構的設計 與製作，改變表面微結構的形狀或大小、進而影響其親疏水性的程度。本計畫之研究方法，我們擬 應用高速攝影機、進行現象之可視化，實驗分析不同親疏水性表面上熱汽泡生成以及其成長隨時間 變化的狀態；為了能對熱汽泡成長過程有定量的分析，本研究中將訂定一些重要的物理參數，並針 對這些物理參數其受不同表面親疏水性的影響進行研究分析，以深入探討汽泡之熱力行為。