反應器、化學氣相沈積反應器以及有機金屬化學氣相沈積反應器

Abstract

一種反應器具有複數個獨立熱庫。每一熱庫可藉由加熱與冷卻的方式，來調整熱庫溫度。第一熱庫與第二熱庫面對面相對設置，且兩者內側具有一預定的距離及一預定的夾角。第一熱庫上可放置至少一基板，基板位於的一熱庫與第二熱庫之間，且第二熱庫的溫度較第一熱庫的溫度為高，以增進反應物的熱分解效率。