複晶矽薄膜電晶體相關技術之開發---子計畫二：高品質複晶矽薄膜電晶體介電絕緣層之研究(III)

Date

Authors

Keywords

複晶矽 , 液相沈積 , 離子披覆 , 保護層 , 薄膜電晶體 , Polysilicon , Liquid-phase deposition , Ion plating , Passivation layer , Thin film transistor

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=409164&docId=72450
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/95072

Collections

研究計畫;;Research Plans