微奈米球結構之製作方法及其應用之孔洞製作方法

Abstract

本發明係揭露一種微奈米球結構之製作方法及其應用之微奈米孔洞製作方法，其係將複數小球接觸於刮刀，再利用刮刀將小球溶液刮塗於基材表面上，以在基材表面上塗佈附著數個小球；並使基材單次或多次進入液體中再離開以除去多餘小球，可避免較多的外力因素和實現在大面積製程。本發明確實可塗佈在最大面積上並得到均勻的微奈米球分佈。本發明之方法也可應用於製作具有微米或奈米孔洞之薄膜、垂直式電晶體或氣體感測器，以利於量產並可用於大面積元件。本發明亦兼具有低設備成本、再現性高、均勻度高及製程簡單的優勢。