具有優選排列方向之金膜、其製備方法、及包含其之接合結構

Abstract

一種具有優選排列方向之金膜，該金膜係包括互相連接之複數個金晶粒，其中，至少50%以上之該些金晶粒係由複數個奈米雙晶金晶粒所組成，且該奈米雙晶金晶粒係由複數個奈米雙晶金沿著[111]晶軸方向堆疊而成，而該奈米雙晶金晶粒之直徑係0.1~10μm。