反射電子能量損失分布之研究

Abstract

本計劃利用蒙地卡羅法(Monte Carlo method)分析 電子在能量100eV至2keV範圍內,由各向同性及均 勻之物質表面彈性反射的彈性反射係數及角度 分布. 結果顯示大部份的彈性反射電子只經過 少數幾次散射,同時大約一半是僅經過一次散 射. 因此,多次散射模式或一次散射模式,都不 足以描述反射電子的角度分布. 為了改良這些 模式,我們真正的計算了一次至三次散射的貢 獻,對其他更多次散射,則採用P1多次散射近似 法,來解波玆曼遷移方程式. 這樣,我們可得彈 性反射係數及角度分布的解析公式. 利用此公 式所得結果和蒙地卡羅模擬結果及實驗數據相 當吻合.