微小機電元件與系統之研究---子計畫一：電容性微感器及微控器元件結構設計與製造

Abstract

本群體計畫將整合本校具電子、機械、材 料、物理及應用化學等專才,研究發展矽基材 之電容性微感測器(microsensors)、微控器( microactuators)及微小機電系統(MEMS)(Micro-electro-mechanical systems).本子計畫將包含:(1) 感測器-如醫學用助聽器及氣流控制等高靈敏 度感測器;(2)控制器-氣體與流體閥及開關及光 通信等;(3)以回授感測器自校正之感測器及控 制器;(4)表面微小感測器.本計畫分三年實施,第 一年將研究Bulk micromachined微感測器結構製程設 計研究(含feedthrough結構製程設計)與製作.第二 年繼續元件製作之發展,元件製造評估及IC與感 測器積體設計製作及Surface micromachined微感測器 結構製程設計研究.第三年將研究控制器及表 面微小機電元件製作.本實驗研究結果未來將 提供高性能微感測器及微控制器MEMS系統技術 給電子工業界.