低溫液相沈積二氧化矽薄膜之研究發展

dc.contributor.author	葉清發	en_US
dc.contributor.department	國立交通大學電子工程研究所	zh_TW
dc.date.accessioned	2014-12-13T10:39:21Z
dc.date.available	2014-12-13T10:39:21Z
dc.date.issued	1995	en_US
dc.description.sponsorship	行政院國家科學委員會	zh_TW
dc.identifier.govdoc	NSC84-2215-E009-054	zh_TW
dc.identifier.uri	https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=172143&docId=29236	en_US
dc.identifier.uri	https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/96391
dc.language.iso	zh_TW	en_US
dc.title	低溫液相沈積二氧化矽薄膜之研究發展	zh_TW
dc.title	Investigations and Developments Room-Temperature Liquid-Phase Deposition of SiO/sub 2/ Film	en_US
dc.type	Plan	en_US

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