生物感測系統

Abstract

本發明提供一種生物感測系統，其包含一無接面奈米線場效電晶體，具有源極端、汲極端及閘極端，閘極端電性環繞一無接面矽奈米線或閘極端電性連接一無接面矽奈米帶，無接面矽奈米線的直徑小於20nm，並且無接面矽奈米帶的通道厚度小於15nm；以及一感測晶片，具有延伸閘極，延伸閘極是一電容式感測電極，並且感測晶片之感測電極連接至無接面奈米線場效電晶體之閘極端，藉由等效電路分析;對感測電極的電極面積與總感測晶片面積之面積比、氧化層厚度與感測電極之塊氧化介電膜厚度之厚度比以及無接面矽奈米線的閘極電容或無接面矽奈米帶的閘極電容與感測電極的電極電容之電容比、以及待測溶液的離子濃度進行最佳化，以獲得在感測電極及閘極端之間的最佳化電位耦合效率。