電子束微影近距效應校正參數求測

Date

Authors

Keywords

電子束微影成像 , 近距效應 , 校正 , 參數 , Electron beam lithography , Proximity effect , Correction , Parameter

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=409020&docId=72412
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/95090

Collections

研究計畫;;Research Plans