ナノワイヤチャネルを有する半導体装置の製造方法およびこの装置を用いた半導体装置の製造方法

dc.citation.patentcountry	JPN	zh_TW
dc.citation.patentnumber	5532071	zh_TW
dc.contributor.author	ポ－イクオ	en_US
dc.contributor.author	ティエン－シェンチャオ	en_US
dc.contributor.author	イ－シェンル	en_US
dc.date.accessioned	2014-12-16T06:16:23Z
dc.date.available	2014-12-16T06:16:23Z
dc.date.issued	2014-05-09	en_US
dc.identifier.govdoc	H01L029/786	zh_TW
dc.identifier.govdoc	H01L021/336	zh_TW
dc.identifier.uri	https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/105799
dc.language.iso	zh_TW	en_US
dc.title	ナノワイヤチャネルを有する半導体装置の製造方法およびこの装置を用いた半導体装置の製造方法	zh_TW
dc.type	Patents	en_US

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