微機電系統校際整合研究---子計畫一：電容性微感器及微控器元件結構設計與製造

dc.contributor.author	張國明	en_US
dc.contributor.author	CHANG KOW-MING	en_US
dc.contributor.department	國立交通大學電子工程學系	zh_TW
dc.date.accessioned	2014-12-13T10:39:08Z
dc.date.available	2014-12-13T10:39:08Z
dc.date.issued	1996	en_US
dc.description.sponsorship	行政院國家科學委員會	zh_TW
dc.identifier.govdoc	NSC85-2215-E009-029	zh_TW
dc.identifier.uri	https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=234686&docId=43084	en_US
dc.identifier.uri	https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/96117
dc.language.iso	zh_TW	en_US
dc.subject	微機電系統	zh_TW
dc.subject	微感測器	zh_TW
dc.subject	微致動器	zh_TW
dc.subject	微機電元件	zh_TW
dc.subject	MEMS	en_US
dc.subject	Microsensor	en_US
dc.subject	Microactuator	en_US
dc.subject	Microdevice	en_US
dc.title	微機電系統校際整合研究---子計畫一：電容性微感器及微控器元件結構設計與製造	zh_TW
dc.title	Capacitive Microsensors and Microactuators Device Structure Design and Fabrication	en_US
dc.type	Plan	en_US

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