氣體可穿透垂直式感測器及包含其之氣體感測系統

Abstract

一種氣體可穿透垂直式感測器，用以感測待測氣體，其包含：基板，其包含氣體可穿透結構以用於供待測氣體穿透；以及感測組件，其係設置於基板之上表面上，感測組件包含：氣體可穿透電極及感測層。氣體可穿透電極設置於該基板的上表面並包含複數個孔洞用以供該待測氣體穿透。感測層設置於基板之上表面與氣體可穿透電極之間，其中待測氣體係以垂直基板之上表面的方向穿透感測組件及基板後而被感測。包含上述氣體可穿透垂直式感測器之氣體感測系統亦於此處被提出。