雷射LIGA製作角錐微陣列坡莫合金模仁之微結構與機械性質
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雷射LIGA製程 , 角錐陣列 , 坡莫合金模 , 顯微結構 , 機械性質 , 微模鑄造 , Laser LIGA process , Pyramid array , Permalloy mold , Microstructure , Mechanical property , LIGA