線路結構及其製備方法
| dc.citation.patentcountry | TWN | en_US |
| dc.citation.patentnumber | 201719836 | en_US |
| dc.contributor.author | 陳智 | zh_TW |
| dc.contributor.author | 邱韋嵐 | zh_TW |
| dc.contributor.author | 呂佳凌 | zh_TW |
| dc.date.accessioned | 2019-04-11T05:56:25Z | |
| dc.date.available | 2019-04-11T05:56:25Z | |
| dc.date.issued | 2017-06-01 | en_US |
| dc.description.abstract | 一種線路結構及其製備方法。所述線路結構包括基板與形成在基板溝渠內的銅導線，其中銅導線是由數個晶粒兩兩連接而成。所述銅導線之表面面積的20%以上所含的晶粒均滿足每一晶粒的長度與線寬比在5以上，因此可使銅導線具有較低的電阻率以及良好的抗電遷移的特性。 | zh_TW |
| dc.identifier.govdoc | H01L023/482 | en_US |
| dc.identifier.govdoc | H01L021/768 | en_US |
| dc.identifier.uri | https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/151369 | |
| dc.language.iso | zh_TW | en_US |
| dc.title | 線路結構及其製備方法 | zh_TW |
| dc.type | Patents | en_US |