離子植入的物理模式研究

Abstract

本計畫係繼續上一專題「離子植入蒙地卡羅計 算機模擬」而提出,吾人利用蒙地卡羅方法,以及 現有的核子碰撞和電子阻擋之物理模式,已成功 地建立一套可以模擬離子植入及金屬噴濺的計算 程式,並已有初步的成果.唯此程式所模擬出來的結果,與其所採用的物理 模式息息相關.近來,關於核子碰撞的原子際電位, 已有通用模式可循,可是關於電子阻擋所引起的 非彈性能量損失,則是尚無定論.對於低能量離子 植入,似可使用現有的非局部電子能量損失模式. 但是對於高能量離子植入,則需使用局部電子能 量損失模式,而現有的經驗模式,似乎不夠準確.吾 人擬利用數值積分方法,計算並建立電子阻擋力 量與入衝參數間的關係,發展一套更完善的物理 模式.吾人亦將研究核子碰撞和電子阻擋力量兩者間的 相互效應,以探討重離子在輕元素物質中射程分 佈.此外,吾人亦將繼續研究離子在多元素化合物 中的碰撞截面,試圖建立一種通用的能量損失模 式,甚至用在共價鍵的矽元素上.