奈米解析度記錄媒體及其他應用之包覆合金碳奈米結構陣列，其製造、機械/熱性質及製程特徵之研究---子計畫二:電子迴旋共振化學汽相沉積反應腔體中電漿製程模擬(III)

dc.contributor.author	吳宗信	en_US
dc.contributor.author	WU JONG-SHINN	en_US
dc.contributor.department	交通大學機械工程系	zh_TW
dc.date.accessioned	2014-12-13T10:31:20Z
dc.date.available	2014-12-13T10:31:20Z
dc.date.issued	2005	en_US
dc.description.sponsorship	行政院國家科學委員會	zh_TW
dc.identifier.govdoc	NSC94-2120-M009-004	zh_TW
dc.identifier.uri	https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=1112907&docId=211060	en_US
dc.identifier.uri	https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/90847
dc.language.iso	zh_TW	en_US
dc.title	奈米解析度記錄媒體及其他應用之包覆合金碳奈米結構陣列，其製造、機械/熱性質及製程特徵之研究---子計畫二:電子迴旋共振化學汽相沉積反應腔體中電漿製程模擬(III)	zh_TW
dc.type	Plan	en_US

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