1. 目前位置：
李安謙

李安謙 Lee, An-Chen

電子郵件／E-mail：aclee@cc.nctu.edu.tw

服務單位／Department：工學院 ／ 半導體材料與製程設備組

著作期間／Publish Period：1987 - 2014-10-01

著作統計／Statistics

Article（70）
Plan（46）
Proceedings Paper（4）
Thesis（157）

Article

序號
No.		 標題
Title		 著作日期
Date
1 Analyses of a new four-facet drill 2014-10-01
2 Robustness Analysis of Mixed Product Run-to-Run Control for Semiconductor Process Based on ODOB Control Structure
 2014-05-01
3 Two-dimensional pheromone propagation controller applied to run-to-run control for semiconductor manufacturing
 2013-05-01
4 Combined Product and Tool Disturbance Estimator for the Mix-Product Process and Its Application to the Removal Rate Estimation in CMP Process
 2012-04-01
5 The feedrate scheduling of NURBS interpolator for CNC machine tools
 2011-06-01
6 Fabrication of an asymmetric Bragg coupler-based polymeric filter with a single-grating waveguide
 2011-05-23
7 Sliding Observer for Friction Compensation in a Linear-Motor-Driven Motion System 2011-02-01
8 Output Disturbance Observer Structure Applied to Run-to-Run Control for Semiconductor Manufacturing
 2011-02-01
9 Analyses and experimental confirmation of removal performance of silicon oxide film in the chemical-mechanical polishing (CMP) process with pattern geometry of concentric groove pads
 2011-01-12
10 Robust observer-controller compensator design using the loop shaping design procedure and the algebraic method
 2010-07-10
11 A New Adaptive B-spline VFC Snake for Object Contour Extraction 2010-01-01
12 Advanced parameter identification for a linear-motor-driven motion system using disturbance observer
 2009-10-01
13 Fabrication of optical filters based on polymer asymmetric Bragg couplers
 2009-09-28
14 Pheromone Propagation Controller: The Linkage of Swarm Intelligence and Advanced Process Control
 2009-08-01
15 A hybrid controller design for bi-axial inverted pendulum system
 2009-03-25
16 Using a micro-molding process to fabricate polymeric wavelength filters
 2008-08-01
17 A modified transfer matrix method for the coupled lateral and torsional vibrations of asymmetric rotor-bearing systems
 2008-05-20
18 Advanced process control of the critical dimension in photolithography 2008-01-01
19 Generalization of all stabilizing compensators for finite-dimensional linear systems
 2007-11-01
20 Run-by-run process control of metal sputter deposition: Combining time series and extended kalman filter
 2007-08-01
21 Design of nonlinear controller for bi-axial inverted pendulum system
 2007-07-01
22 Rejection of limit cycles induced from disturbance observers in motion control
 2006-12-01
23 A modified transfer matrix method for the coupling lateral and torsional vibrations of symmetric rotor-bearing systems
 2006-01-03
24 The failure of threaded fasteners due to vibration 2005-03-01
25 A novel cross-coupling control design for Bi-axis motion
 2002-11-01
26 New direct velocity and acceleration feedforward tracking control in a retrofitted milling machine 1999-09-01
27 Sensor and actuator placement for modal identification
 1998-09-01
28 Design of acceleration/deceleration profiles in motion control based on digital FIR filters
 1998-07-01
29 Asymptotic stability analysis for collocated direct output feedback control of flexible systems 1997-12-01
30 Identification of the unbalance distribution in flexible rotors
 1997-07-01
31 Design of a permanent/electromagnetic magnetic bearing-controlled rotor system
 1997-05-01
32 Optimum magnetic bearing design considering performance limitations 1996-09-01
33 Modeling and diagnosis of motion error of multi-axis machines using a ball bar test
 1996-09-01
34 Optimal control of vibration suppression in flexible systems via dislocated sensor/actuator positioning
 1996-09-01
35 Identification of the unbalance distribution and dynamic characteristics of bearings in flexible rotors 1996-01-01
36 Modeling and analysis of the intermediate shaft between two universal joints 1996-01-01
37 The joint displacement method for multiloop kinematic analysis 1995-12-01
38 ADAPTIVE-CONTROL OPTIMIZATION IN END MILLING USING NEURAL NETWORKS
 1995-04-01
39 DECENTRALIZED CONTROL OF A ROTOR SYSTEM SUPPORTED BY MAGNETIC BEARINGS
 1995-03-01
40 ESTIMATION OF LINEARIZED DYNAMIC CHARACTERISTICS OF BEARINGS USING SYNCHRONOUS RESPONSE
 1995-02-01
41 ANALYSIS OF CUTTING FORCES IN BALL-END MILLING
 1995-01-01
42 ANALYSIS AND TESTING OF MAGNETIC BEARING WITH PERMANENT-MAGNETS FOR BIAS 1994-12-01
43 PERFORMANCE LIMITS OF PERMANENT-MAGNET-BIASED MAGNETIC BEARINGS 1994-12-01
44 DESIGN FOR MANUFACTURING THE ELASTIC PIVOTS WITH SPECIAL REFERENCE TO MANUFACTURING ERROR 1994-11-01
45 AN INVESTIGATION OF THE CHARACTERISTICS OF ELECTROMAGNETIC BEARINGS USING THE FINITE-ELEMENT METHOD 1994-10-01
46 A MODIFIED TRANSFER-MATRIX METHOD FOR ASYMMETRIC ROTOR-BEARING SYSTEMS 1994-07-01
47 EFFECTIVE ACTIVE DAMPING DESIGN FOR SUPPRESSION OF VIBRATION IN FLEXIBLE SYSTEMS VIA DISLOCATED SENSOR ACTUATOR POSITIONING 1994-06-01
48 COLLOCATED SENSOR ACTUATOR POSITIONING AND FEEDBACK DESIGN IN THE CONTROL OF FLEXIBLE STRUCTURE-SYSTEM 1994-04-01
49 A CONSISTENT FINITE-ELEMENT FORMULATION FOR NONLINEAR DYNAMIC ANALYSIS OF PLANAR BEAM
 1994-01-15
50 THE ANALYSIS OF LINEAR ROTOR-BEARING SYSTEMS - A GENERAL TRANSFER-MATRIX METHOD 1993-10-01
51 VIBRATION AND ROBUST-CONTROL OF SYMMETRICAL FLEXIBLE SYSTEMS 1993-07-01
52 STEADY-STATE ANALYSIS OF A ROTOR MOUNTED ON NONLINEAR BEARINGS BY THE TRANSFER-MATRIX METHOD 1993-06-01
53 A NOVEL CONTROL ALGORITHM FOR RAPID AND PRECISE POSITIONING 1992-12-01
54 ACTIVE CONTROL OF AN ASYMMETRICAL RIGID ROTOR SUPPORTED BY MAGNETIC BEARINGS
 1992-11-01
55 TRANSIENT ANALYSIS OF AN ASYMMETRIC ROTOR-BEARING SYSTEM DURING ACCELERATION 1992-11-01
56 OPTIMAL VIBRATION CONTROL FOR A FLEXIBLE ROTOR WITH GYROSCOPIC EFFECTS 1992-09-01
57 OPTIMAL SAMPLING IN THE IDENTIFICATION OF A RANDOMLY EXCITED STRUCTURAL SYSTEM 1992-07-01
58 INVESTIGATION ON THE STEADY-STATE RESPONSES OF ASYMMETRIC ROTORS 1992-04-01
59 A MODIFIED TRANSFER-MATRIX METHOD FOR LINEAR ROTOR-BEARING SYSTEMS 1991-09-01
60 ANALYSIS OF CHATTER VIBRATION IN A CUTTER-WORKPIECE SYSTEM 1991-01-01
61 ANALYSIS OF CHATTER VIBRATION IN THE END MILLING PROCESS 1991-01-01
62 A CAD CAM SYSTEM FOR 3D COORDINATE MEASURING DATA 1990-12-01
63 SOME CONTRIBUTIONS ON THE CHARACTERIZATION OF ONE-DIMENSIONAL SPATIAL PROCESSES 1990-11-01
64 MINIMUM-VARIANCE CONTROLLER FOR A CLASS OF NONLINEAR-SYSTEMS 1990-11-01
65 OPTIMAL EXTRACTION OF STRUCTURAL CHARACTERISTICS FROM RESPONSE MEASUREMENTS 1990-07-01
66 COMPUTER CLASSIFICATION OF THE PCG WAVE-FORM 1990-03-01
67 SEGMENTATION OF PIECEWISE STATIONARY SIGNALS 1989-10-01
68 SOME RESTRICTIONS OF THE NON-CAUSAL IMPULSE-RESPONSE FUNCTIONS 1989-08-01
69 MODAL-ANALYSIS FOR RANDOMLY EXCITED STRUCTURAL SYSTEMS WITH UNMEASURED INPUT 1989-07-08
70 A NEW AUTOREGRESSIVE METHOD FOR HIGH-PERFORMANCE SPECTRUM ANALYSIS
 1989-07-01

Plan

序號
No.		 標題
Title		 著作日期
Date
1 真空低壓系統自適應與強健控制器開發研究 2014
2 半導體批次製程可變量測延遲控制器開發研究 2014
3 指管系統之控制模擬技術研究 (I) 2013
4 半導體批次製程可變量測延遲控制器開發研究 2013
5 一種創新型批次強健控制器應用於半導體混貨製程開發研究 2012
6 一種創新型批次強健控制器應用於半導體混貨製程開發研究 2011
7 預測干擾觀測器應用於網路延遲控制架構
 2010
8 智慧型電梯節能技術研發( II ) 2010
9 半導體微影覆蓋誤差先進製程批次控制開發研究
 2009
10 預測干擾觀測器應用於網路延遲控制架構
 2009
11 半導體微影覆蓋誤差先進製程批次控制開發研究
 2008
12 多軸同步網路傳輸運動控制平台之實現 2008
13 多軸同步網路傳輸運動控制平台之實現 2007
14 撓性轉子磁浮軸承之系統動態分析、控制研究及DSP控制板之實現(II) 2006
15 光碟製程設備智慧型診斷與維修保養系統之發展---子計畫三：前段(母版模具)製程設備即時監控系統發展(III) 2006
16 撓性轉子磁浮軸承之系統動態分析,控制研究及DSP控制板之實現(I)
 2005
17 光碟製程設備智慧型診斷與維修保養系統之發展---子計畫三：前段(母版模具)製程設備即時監控系統發展(II)
 2005
18 運動控制精度改善與視覺檢測之雛型機開發(III) 2004
19 高速磁浮渦輪分子真空幫浦之開發(III) 2004
20 光碟製程設備智慧型診斷與維修保養系統之發展---子計畫三：前段(母版模具)製程設備即時監控系統發展(I) 2004
21 集束型化學氣相沉積製程設備模擬器及訓練器之軟體設計製作(Ⅱ) 2004
22 運動控制精度改善與視覺檢測之雛型機開發(II)
 2003
23 高速磁浮渦輪分子真空幫浦之開發(II)
 2003
24 高速磁浮渦輪分子真空幫浦之開發(I)
 2002
25 運動控制精度改善與視覺檢測之雛型機開發
 2002
26 集束型半導體製程設備模擬器之軟體設計製作
 2002
27 內藏式高速磁浮主軸及其監控系統之研究(III)
 2001
28 300 mm 多腔製程設備之自動建模及最佳排程
 2001
29 工具機循徑運動控制精度改善策略之研究(II)
 2001
30 內藏式高速磁浮主軸及其監控系統之研究
 2000
31 工具機循徑運動控制精度改善策略之研究(I) 2000
32 內藏式高速磁浮主軸及其監控系統之研究(II) 2000
33 高性能PC Based運動控制器之設計與發展(II)
 2000
34 內藏式磁浮高速主軸之研發(II)
 1999
35 高性能PC-Based運動控制器之設計與發展
 1999
36 DSP Based非圓切削最佳定量回饋控制---非圓切削最佳定量回饋控制研究
 1998
37 內藏式磁浮高速主軸之研發
 1998
38 DSP Based 精密非圓切削強韌控制 1997
39 非圓切削智慧型混合控制 1996
40 五自由度磁浮軸承支撐之高速主軸設計、製造 、控制與測試 1996
41 磁浮軸承轉子系統模糊控制之研究與實作 1995
42 智慧型機械式立體停車場研究與實作 1995
43 智慧型機械式立體停車場研究與實作 1994
44 端銑智慧型混合控制(II) 1994
45 同置型感知器與致動器的配置在結構控制之研究 1993
46 端銑智慧型混合控制 1993

Proceedings Paper

序號
No.		 標題
Title		 著作日期
Date
1 Design of a new micro single flute drill 2014-01-01
2 GA BASED HYBRID FUZZY RULE OPTIMIZATION APPROACH FOR ELEVATOR GROUP CONTROL SYSTEM 2013-01-01
3 Modified Double EWMA Approach for Mixed Product Run-to-Run CMP Process Control 2011-01-01
4 Path planning for CNC contouring around a corner
 2004-03-01

Thesis

序號
No.		 標題
Title		 著作日期
Date
1 史密斯預測器與預測干擾觀測器架構應用於半導體製程的量測延遲 2014
2 以有限元素法分析微鑽針的側向及扭轉耦合振動之研究 2014
3 廣義傳遞矩陣法於斜柄鑽頭側向及扭轉耦合振動之分析 2014
4 加速度回饋應用於導螺桿運動平台系統 2014
5 兩階段H∞干擾觀測器與控制器設計 2014
6 無位置感測器直流無刷馬達之設計與實現 2013
7 脈寬調變換流器之諧波消除 2013
8 太陽能發電系統直流/直流轉換器之電壓漣波抑制研究與DSP實現 2013
9 小型空調MIMO時延系統之控制與實作 2013
10 無感測器直流無刷馬達驅動與誤差補償 2013
11 基於無感測器無刷直流馬達之參數鑑別 2013
12 適應性干擾觀測器於半導體製程干擾之抑制 2013
13 光伏系統之直流/直流轉換器電壓漣波抑制之研究 2012
14 併市電型太陽能光伏系統中之脈寬調變換流器電壓諧波抑制之研究 2012
15 無位置感測器直流無刷馬達新型換相技術之研究 2012
16 考量耗材磨耗下化學機械研磨製程之控制研究 2012
17 新型鑽針設計與分析 2012
18 有延遲時間的MOCVD製程反應腔體內部壓力控制系統的強健控制 2012
19 適應性壓力控制系統於MOCVD製程之實現 2012
20 費洛蒙擴散控制器–結合群體智能與先進製程控制的控制器 2011
21 卡曼濾波器與模型誤差自我調變法於批次控制之應用 2011
22 半導體批次控制研究及其應用於混貨製程 2011
23 基於史密斯預測器架構與雙互質分解控制含有時間延遲之連續時間系統 2011
24 TFT LCD金屬層變更之研究 2010
25 五軸工具機幾何誤差量測 2010
26 語音暨資訊整合通訊程序設計 2010
27 基於輸出干擾觀測器分析半導體混貨批次控制之強健性 2010
28 基於雙互質分解干擾觀測器控制時延系統 2010
29 研磨墊調節之磨削機構及其對化學機械研磨(CMP)製程之影響 2009
30 雙互質分解干擾觀測器
 2009
31 基於預測干擾觀測器與史密斯預測器架構控制穩定與積分時延系統 2009
32 基於預測干擾觀測器之控制方法於雙輸入雙輸出(TITO)不穩定時間延遲系統 2009
33 統一預測控制應用於一階穩定時延系統 2009
34 基於預測干擾觀測器控制雙輸入雙輸出有輸入時間延遲與輸出時間延遲的穩定系統 2009
35 適應性干擾觀測器與適應性預測干擾觀測器應用於一階穩定時延系統消除未知的確定性干擾 2009
36 黃光微影製程晶圓覆蓋誤差控制研究開發 2008
37 以弧長為參數的 NURBS 曲線插值器設計 2008
38 化學機械研磨混貨製程晶圓內部平坦度研究 2008
39 CNC工具機之NURBS插值器速度控制規劃 2008
40 干擾觀測器在網路控制系統之設計 2008
41 以產品為基礎之適應性干擾估測器用於半導體製程之批次控制 2008
42 批次統一預測控制於具有時間延遲之半導體製程的穩定度與性能分析 2008
43 Predictive Disturbance-Observer-Based Control Approach for a Class of Time Delay Systems 2008
44 二維倒單擺非線性控制器設計 2008
45 適應性干擾觀測器於半導體製造之批次控制 2007
46 應用非線性D-EWMA控制器於電漿蝕刻製程控制
 2007
47 深溝多晶遮罩開口蝕刻製程之先進製程控制
 2007
48 結合卡曼濾波器及最小變異控制器進行PECVD機台先進製程控制 2007
49 使用費洛蒙擴散控制器改善關鍵尺寸之變異
 2007
50 使用非線性D-EWMA控制器改善化學氣相沈積製程 2007
51 以卡曼濾波器及最小變異控制器實現微影製程控制
 2007
52 干擾觀測器架構應用在半導體製造批次控制 2007
53 ALS-QFT/DCFDOB控制器之設計與實現於撓性轉子磁浮軸承 2007
54 以干擾觀測器補償永磁式線性馬達之鈍齒效應包含DSP即時多工控制系統之移植
 2007
55 傳遞矩陣法在非對稱轉子系統的側向及扭轉耦合振動之研究 2007
56 具Vidyasagar結構補償器之穩健設計 2006
57 以嵌入式控制器設計與開發光碟旋轉塗佈設備之通訊模組
 2006
58 化學機械研磨之虛擬量測與製程控制 2006
59 以FPGA實現磁浮系統之三態PWM切換及懸浮控制 2006
60 DSP-Based 影像處理與視覺定位開發應用於雙軸線性馬達 2006
61 應用類神經網路於蝕刻製程之缺陷分析與預測
 2006
62 應用動態模式最小變異控制器於先進微影製程控制 2005
63 PC-BASED 控制器於快速熱處理上之實現 2005
64 線性馬達運動系統在微觀區下之系統鑑別及控制 2005
65 DSP-Based 之即時多工運動控制器研製 2005
66 反覆式學習控制應用於伺服馬達鈍齒效應之補償 2005
67 DSP-based運動控制卡之即時多工控制及伺服馬達鈍齒效應之補償 2005
68 直線馬達運動平台之參數鑑別與微小路徑定位控制 2005
69 集束型化學氣相沈積製程設備模擬器及訓練器之軟體設計製作
 2004
70 倒單擺定位系統之多自由度H∞ 控制器設計
 2004
71 三度空間曲線之Bicubic DDA研究及FPGA實作 2004
72 結合遞迴最小平方動態模型調變及最小變異控制器進行PECVD機台先進製程控制
 2004
73 集束型製程設備與上層主機通訊介面
 2003
74 The Analysis and Compensation of Friction for a Linear-Motor-Driven Motion Stage Under Macro and Micro Dynamic Scale
 2003
75 多軸伺服步進馬達控制器之研究與開發
 2003
76 半導體與光電製程設備通訊模組之研究與開發
 2003
77 QFT方法應用於含非確定參數之磁浮軸承控制 2002
78 線性馬達運動系統之摩擦力研究 2002
79 集束型設備傳輸模組控制器及通訊模組設計與測試 2002
80 集束型製程設備之製程模組控制器設計與測試 2002
81 線性馬達平台誤差補償之順滑模態觀測器設計 2002
82 傳輸模組與快速熱處理模組實體迴路模擬器之設計與實做 2002
83 電容式近接感測器之分析與設計 2002
84 微機電技術於電容式近接感測器之設計與製作 2002
85 撓性轉子磁浮軸承系統之研究與控制 2002
86 線性馬達運動系統之摩擦力補償設計 2001
87 集束型製程設備最佳排程之即時搜尋 2001
88 集束型半導體製程設備模擬器之分析與物件導向設計 2001
89 製程模組控制器軟體設計與實作 2001
90 渦輪分子真空幫浦轉子動態分析與輕量化設計 2001
91 線上BGA影像檢測之探討與改進 2000
92 類神經網路在DSP-Based運動控制系統上的非線性補償 1999
93 複合式渦輪分子真空幫浦之應力及自然頻率分析 1999
94 BGA線上檢測系統之開發 1999
95 主動式磁浮軸承與內藏式馬達結合之控制理論模型建立與系統鑑別 1999
96 高性能DSP-Based運動控制系統關鍵軟硬體研製與發展 1998
97 渦輪分子幫浦抽氣機構之研究 1998
98 磁浮軸承轉子偏心力之估測與補償研究 1998
99 程序控制之研究 ─ Fuzzy控制器設計與參數調適□ 1998
100 磁浮軸承之研究:氮化鋁、氮化硼粉體之合成及鈦+碳/鈦+鋁系統之反應機構 1998
101 程序控制之研究-PID控制器設計與參數調適 1997
102 DSP Based運動控制法則之研究-PID控制器、前饋控制器設計與調適 1997
103 五自由度磁浮軸承之系統鑑別與數位控制器設計 1997
104 CNC控制器速度及加減速規劃之研究 1996
105 專家系統在轉子振動診斷之研究 1996
106 應用田口實驗法設計強健性PID控制器於五自由度高速磁浮主軸 1996
107 統計式中文語言模型之初步探討 1995
108 DSP伺服控制版之發展與應用 1995
109 聯軸器對轉子系統的穩態振動之探討 1995
110 直接速度、加速度前饋控制器設計及 PC Based CNC 系統的實現 1995
111 TMS320 C50 DSP單板控制卡實作與應用 1995
112 五自由度磁浮軸承支撐之高速主軸設計 1995
113 轉子系統之廣義傳遞矩陣法研究及離心幫浦之實驗驗證 1995
114 磁浮軸承分散控制與質量偏心補償之研究 1995
115 Design of 5－DOF High Speed Spindle Supported by Magnetic Bearings 1995
116 模糊控制器應用於磁浮軸承的設計與實現 1994
117 利用改進之插值及加減速機構發展工具機之誤差補償技術 1994
118 電磁力激振器之本體設計及控制模擬 1994
119 離心泵浦轉子動態分析實驗驗證 1994
120 離心幫浦轉子動態分析實驗驗證 1994
121 倒單擺之非線性控制 1993
122 磁浮軸承之可變結構控制 1993
123 端銑顫振模糊控制 1993
124 飛彈尾翼鎖緊機構之振動與鬆脫分析 1993
125 步進控制及其於工具機路徑之應用 1993
126 轉子軸承系統之軸承參數識別 1993
127 端銑神經網路最佳化切削與顫振模糊控制 1993
128 主動式磁浮軸承之分析 1993
129 倒單擺之非線性控制 1993
130 步進控制及其於工具機路徑控制之應用 1993
131 模態鑑別時感測器與致動器之位置選擇 1992
132 考慮實際性能限制之磁浮軸承最佳化設計 1992
133 簡易CNC系統的實現及加減速方法的分析和設計 1992
134 利用類神經網路於端銑過程的適應性最佳化控制 1992
135 利用雙球桿量測發展數值工具機之誤差診斷與補償技術 1992
136 永久磁鐵偏向型磁浮軸承之分析､設計與測試 1991
137 含萬向接頭之中間軸的穩態分析 1991
138 非對稱轉子軸承系統之建模及穩態分析 1991
139 含萬向接頭之中間軸的穩態分析 1991
140 同置型感知器與致動器的配置在撓性系統控制之研究 1991
141 由磁浮軸承支撐之非對稱剛性轉子系統的主動控制 1990
142 球形端銑刀之切削力分析 1990
143 裂痕旋轉子動態與穩定性分析 1990
144 轉子-軸承系統的參數判別 1990
145 用有限單元法分析旋轉子扭轉振動及橫向振動之間的偶合效應 1989
146 旋轉子之穩態及暫態振動主動控制 1989
147 疊層複合材料在定態窄頻應力過程下之累積損傷及殘留強度 1989
148 廣義傳遞矩陣法於線性撓性旋轉子之應用 1989
149 一種改進定位控制的新方法 1988
150 旋轉子在加速過程中之暫態分析 1988
151 從三次元量測儀建立參數曲面之電腦輔助設計與製造 1988
152 應用在旋轉子上的傳遞矩陣法之改進 1988
153 端銑形狀誤差的分析 1987
154 片段穩態訊號之切割與心音自動診斷之研究 1987
155 端銑顫振之分析 1987
156 隨機振動之模態參數估計 1987
157 端銑形狀誤差分析 1987
工學院