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Books
序號 No. |
標題 Title |
著作日期 Date |
---|---|---|
1 | 國立交通大學材料科學與工程學系呂志鵬教師升等送審著作論文集 | 2011 |
Patents
序號 No. |
標題 Title |
著作日期 Date |
---|---|---|
1 |
掺碳氮化矽薄膜及其製造方法與裝置 |
2014-08-21 |
2 |
多孔性材料之製備方法 |
2014-02-01 |
3 |
掺碳氮化矽薄膜及其製造方法與裝置 |
2013-12-16 |
4 |
形成孔洞性材料之方法 |
2012-12-01 |
5 |
METHOD FOR FORMING A POROUS MATERIAL |
2009-12-31 |
6 |
形成孔洞性材料之方法 |
2009-11-16 |
Plan
序號 No. |
標題 Title |
著作日期 Date |
---|---|---|
1 | 超低介電碳氮化矽薄膜之研究 | 2014 |
2 | 利用離子型界面活性劑探討旋塗性多孔超低介電薄膜中起孔洞劑與孔洞尺寸及其分散行為之研究 | 2013 |
3 | 利用離子型界面活性劑探討旋塗性多孔超低介電薄膜中起孔洞劑與孔洞尺寸及其分散行為之研究 | 2012 |
4 |
Novel Porous Low-K Materials with Grafted Porogens---Their Synthesis, Pore Morphology and Properties(I) |
2010 |
5 | 新穎多孔性氮碳化矽材料及氣隙內連接可行性之研究(II) | 2009 |
6 | 新穎多孔性氮碳化矽材料及氣隙內連接可行性之研究 | 2008 |
7 | 新式兩相多孔性低介電材料及其製程之探討(III) | 2007 |
8 | 新式兩相多孔性低介電材料及其製程之探討(II) | 2006 |
9 |
新式兩相多孔性低介電材料及其製程之探討(I) |
2005 |
10 |
微電子65奈米世代後銅薄膜阻抗係數之探討 |
2005 |
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