Browsing by Author "HSU WENSYANG"

Now showing 1 - 20 of 36

以光感高分子材料製作垂直梳狀致動器
(2009)
徐文祥
;
HSU WENSYANG
;
國立交通大學機械工程學系(所)
垂直式梳狀致動器是微機電最著名的元件之ㄧ。至今為止，所有被發展出來的垂直式梳狀致動器多以矽(或多晶矽)作為主要結構材料，然而，這些必須由深反應離子蝕刻(DRIE)進行加工，或以SOI 晶片為主的技術，雖然高精度，也意味著較高的製作成本。相對於矽基材料，高分子正成為極具吸引力的替代性材料，除了製作成本較低外，其低溫製程也易與其他元件製程整合。然而至今尚未有文獻利用高分子材料製作垂直式梳狀致動器。本實驗室近年開發出一可對正型光阻進行雙面多重部分曝光(DoMPE)的製程平台，可建構雙面多階高度的懸浮正型光阻結構，且不需額外犧牲層材料。本計畫即是希望進一步以此製程平台技術，結合表面金屬沉積技術，製作以正型光阻為結構材料的高分子垂直式梳狀致動器。另外，也由於負型光阻SU-8 具有優異機械強度特性，本計劃另一重點即是希望開發負型光阻的雙面多重部分曝光的製程平台，並以此製程平台製作以SU-8 為結構材料之高分子垂直式梳狀致動器。本計劃規劃為兩年期計畫，第一年重點在設計、製作與量測以正型光阻為結構材料的高分子垂直式梳狀致動器，並建立負型光阻的雙面多重部分曝光製程平台的關鍵參數，第二年重點在完成負型光阻的雙面多重部分曝光製程平台，及設計、製作與量測以負型光阻為結構材料的高分子垂直式梳狀致動器，並探討比較兩者特性。
以光感高分子材料製作垂直梳狀致動器
(2008)
徐文祥
;
HSU WENSYANG
;
國立交通大學機械工程學系(所)
垂直式梳狀致動器是微機電最著名的元件之ㄧ。至今為止，所有被發展出來的垂直式梳狀致動器多以矽(或多晶矽)作為主要結構材料，然而，這些必須由深反應離子蝕刻(DRIE)進行加工，或以SOI 晶片為主的技術，雖然高精度，也意味著較高的製作成本。相對於矽基材料，高分子正成為極具吸引力的替代性材料，除了製作成本較低外，其低溫製程也易與其他元件製程整合。然而至今尚未有文獻利用高分子材料製作垂直式梳狀致動器。本實驗室近年開發出一可對正型光阻進行雙面多重部分曝光(DoMPE)的製程平台，可建構雙面多階高度的懸浮正型光阻結構，且不需額外犧牲層材料。本計畫即是希望進一步以此製程平台技術，結合表面金屬沉積技術，製作以正型光阻為結構材料的高分子垂直式梳狀致動器。另外，也由於負型光阻SU-8 具有優異機械強度特性，本計劃另一重點即是希望開發負型光阻的雙面多重部分曝光的製程平台，並以此製程平台製作以SU-8 為結構材料之高分子垂直式梳狀致動器。本計劃規劃為兩年期計畫，第一年重點在設計、製作與量測以正型光阻為結構材料的高分子垂直式梳狀致動器，並建立負型光阻的雙面多重部分曝光製程平台的關鍵參數，第二年重點在完成負型光阻的雙面多重部分曝光製程平台，及設計、製作與量測以負型光阻為結構材料的高分子垂直式梳狀致動器，並探討比較兩者特性。
以創新多頭奈米原子力探針顯微術分析鑲在仿生非對稱雙層脂膜上之質子傳送焦磷酸水解鋂的即時動態特性－以油包覆之水膠液滴製備膜蛋白嵌合之仿生非對稱雙層脂膜(子計畫三) (III)
(2013)
徐文祥
;
HSU WENSYANG
;
國立交通大學機械工程學系（所）
以創新多頭奈米原子力探針顯微術分析鑲在仿生非對稱雙層脂膜上之質子傳送焦磷酸水解鋂的即時動態特性-以油包覆之水膠液滴製備膜蛋白嵌合之仿生非對稱雙層脂膜(子計畫三)( I )
(2011)
徐文祥
;
HSU WENSYANG
;
國立交通大學機械工程學系（所）
以創新多頭奈米原子力探針顯微術分析鑲在仿生非對稱雙層脂膜上之質子傳送焦磷酸水解鋂的即時動態特性-以油包覆之水膠液滴製備膜蛋白嵌合之仿生非對稱雙層脂膜(子計畫三)( II )
(2012)
徐文祥
;
HSU WENSYANG
;
國立交通大學機械工程學系（所）
以微致動器進行微電阻焊在立體微元件組裝的研究
(2007)
徐文祥
;
HSU WENSYANG
;
國立交通大學機械工程學系(所)
受限於半導體微影製程，微機電元件中，微感測器與微致動器多是屬於平面式二維結構。若能開發三維的立體結構，將可節省在平面上所佔的面積，並提供更大的自由度與系統整合的空間。故立體微結構之製程開發與組裝技術成為一重要課題。以往在製作三維微結構的研究上，多是不需導通電路之立體微結構，因元件屬於二維平面時，微結構的定位與訊號的輸入輸出很容易便可以達成，但是若將平面結構進一步設計成三維立體結構時，元件的組裝、致動能量與訊號的輸入輸出就會產生許多的困難與複雜度，所以要如何去克服組裝三維元件所產生的問題，便成為一關鍵課題。而金屬低熔點與高導電性，及低溫製程的特性，很自然就滿足三維元件製作及電路導通之需求。以金屬焊接技術製作三維立體微感測或致動元件尚未發現相關文獻。本研究即是希望開發微電阻焊技術，結合微致動器及金屬式面型微加工技術，發展三維立體金屬微元件(如微致動器)的自我組裝技術，包含舉起，固定及電路導通三項關鍵功能，並符合批次量產製程，易於自動化，不需在微觀下進行人為組裝步?，以增加微機電元件更多的設計空間及產業應用性。本研究預定為兩年期計畫，第1 年主要是開發微電阻銲製程技術，將先以平面微結構組裝作為目標，利用電熱式微致動器，對懸浮銲接微結構施予壓力，再通入適當的電流於銲接微結構，測試電阻銲固定及電路導通效果，重點在微結構及製程參數的建立，包含組裝精確度與銲接部位電阻的變化情形。第2 年將進一步結合微鉸鍊技術，利用微鉸鍊結構及重力達到舉起之功能，再利用電熱式微致動器，以微電阻銲完成立體微元件之固定，並將以三維立體微致動器組裝測試為目標，以開發具電路導通能力之三維立體微元件製作與組裝平台技術。
以微致動器進行微電阻焊在立體微元件組裝的研究
(2006)
徐文祥
;
HSU WENSYANG
;
交通大學機械工程系
受限於半導體微影製程，微機電元件中，微感測器與微致動器多是屬於平面式二維結構。若能開發三維的立體結構，將可節省在平面上所佔的面積，並提供更大的自由度與系統整合的空間。故立體微結構之製程開發與組裝技術成為一重要課題。以往在製作三維微結構的研究上，多是不需導通電路之立體微結構，因元件屬於二維平面時，微結構的定位與訊號的輸入輸出很容易便可以達成，但是若將平面結構進一步設計成三維立體結構時，元件的組裝、致動能量與訊號的輸入輸出就會產生許多的困難與複雜度，所以要如何去克服組裝三維元件所產生的問題，便成為一關鍵課題。而金屬低熔點與高導電性，及低溫製程的特性，很自然就滿足三維元件製作及電路導通之需求。以金屬焊接技術製作三維立體微感測或致動元件尚未發現相關文獻。本研究即是希望開發微電阻焊技術，結合微致動器及金屬式面型微加工技術，發展三維立體金屬微元件(如微致動器)的自我組裝技術，包含舉起，固定及電路導通三項關鍵功能，並符合批次量產製程，易於自動化，不需在微觀下進行人為組裝步?，以增加微機電元件更多的設計空間及產業應用性。本研究預定為兩年期計畫，第1 年主要是開發微電阻銲製程技術，將先以平面微結構組裝作為目標，利用電熱式微致動器，對懸浮銲接微結構施予壓力，再通入適當的電流於銲接微結構，測試電阻銲固定及電路導通效果，重點在微結構及製程參數的建立，包含組裝精確度與銲接部位電阻的變化情形。第2 年將進一步結合微鉸鍊技術，利用微鉸鍊結構及重力達到舉起之功能，再利用電熱式微致動器，以微電阻銲完成立體微元件之固定，並將以三維立體微致動器組裝測試為目標，以開發具電路導通能力之三維立體微元件製作與組裝平台技術。
以微電鍍法製作次微米孔穴的研究
(2001)
徐文祥
;
HSU WENSYANG
;
國立交通大學機械工程學系
以電鍍法製作含奈米粒子之金屬微結構的熱膨脹係數及疲勞特性研究
(2010)
徐文祥
;
HSU WENSYANG
;
國立交通大學機械工程學系（所）
在先前本實驗室的研究中，已成功地將奈米鑽石粒子加入鎳電鍍液中製作鎳-鑽奈米複材，並應用在電熱式微致動器，我們發現鎳-鑽石奈米複合材料相較於純鎳金屬，在相同的位移輸出下可減少73％的輸入功率，熱膨脹係數並會隨著鑽石奈米粒子濃度而增加，但無法用一般複材常用的混合定律解釋。另外，在我們的研究中也發現加入二氧化矽奈米粒子，則可使鎳-奈米複材之熱膨脹係數降低。本計畫將進一步探討電鍍鎳-奈米複材熱膨脹變化原因及其疲勞特性，即為：(I) 鎳-奈米複合材料熱膨脹行為測試與模型建立。(II) 鎳-奈米複材疲勞測試元件製作、方法建立及疲勞特性測試。在熱膨脹行為方面，將利用添加不同種類奈米粒子、不同粒徑且變化奈米粒子濃度對各項製程參數做詳細的熱膨脹行為量測，再透過內應力及晶格尺寸等多項量測數據，以期了解熱膨脹係數變化原因。在疲勞特性方面，將發展三種疲勞測試方法—包括微拉力試驗、振動平台試驗和共振微致動器試驗，並製作相關測試試片，以不同的施加負載頻率及大小，探討所製作奈米複材之疲勞特性，進而希望建立鎳-奈米複材疲勞特性之資料庫。
以電鍍法製作含奈米粒子之金屬微結構的熱膨脹係數及疲勞特性研究
(2009)
徐文祥
;
HSU WENSYANG
;
國立交通大學機械工程學系(所)
在先前本實驗室的研究中，已成功地將奈米鑽石粒子加入鎳電鍍液中製作鎳-鑽奈米複材，並應用在電熱式微致動器，我們發現鎳-鑽石奈米複合材料相較於純鎳金屬，在相同的位移輸出下可減少73％的輸入功率，熱膨脹係數並會隨著鑽石奈米粒子濃度而增加，但無法用一般複材常用的混合定律解釋。另外，在我們的研究中也發現加入二氧化矽奈米粒子，則可使鎳-奈米複材之熱膨脹係數降低。本計畫將進一步探討電鍍鎳-奈米複材熱膨脹變化原因及其疲勞特性，即為：(I) 鎳-奈米複合材料熱膨脹行為測試與模型建立。(II) 鎳-奈米複材疲勞測試元件製作、方法建立及疲勞特性測試。在熱膨脹行為方面，將利用添加不同種類奈米粒子、不同粒徑且變化奈米粒子濃度對各項製程參數做詳細的熱膨脹行為量測，再透過內應力及晶格尺寸等多項量測數據，以期了解熱膨脹係數變化原因。在疲勞特性方面，將發展三種疲勞測試方法—包括微拉力試驗、振動平台試驗和共振微致動器試驗，並製作相關測試試片，以不同的施加負載頻率及大小，探討所製作奈米複材之疲勞特性，進而希望建立鎳-奈米複材疲勞特性之資料庫。
以電鍍法製作含奈米粒子之金屬微結構的熱膨脹係數及疲勞特性研究
(2008)
徐文祥
;
HSU WENSYANG
;
國立交通大學機械工程學系(所)
在先前本實驗室的研究中，已成功地將奈米鑽石粒子加入鎳電鍍液中製作鎳-鑽奈米複材，並應用在電熱式微致動器，我們發現鎳-鑽石奈米複合材料相較於純鎳金屬，在相同的位移輸出下可減少73％的輸入功率，熱膨脹係數並會隨著鑽石奈米粒子濃度而增加，但無法用一般複材常用的混合定律解釋。另外，在我們的研究中也發現加入二氧化矽奈米粒子，則可使鎳-奈米複材之熱膨脹係數降低。本計畫將進一步探討電鍍鎳-奈米複材熱膨脹變化原因及其疲勞特性，即為：(I) 鎳-奈米複合材料熱膨脹行為測試與模型建立。(II) 鎳-奈米複材疲勞測試元件製作、方法建立及疲勞特性測試。在熱膨脹行為方面，將利用添加不同種類奈米粒子、不同粒徑且變化奈米粒子濃度對各項製程參數做詳細的熱膨脹行為量測，再透過內應力及晶格尺寸等多項量測數據，以期了解熱膨脹係數變化原因。在疲勞特性方面，將發展三種疲勞測試方法—包括微拉力試驗、振動平台試驗和共振微致動器試驗，並製作相關測試試片，以不同的施加負載頻率及大小，探討所製作奈米複材之疲勞特性，進而希望建立鎳-奈米複材疲勞特性之資料庫。
以高分子作為感應偶合電漿反應離子蝕刻側壁保護層以製作單晶矽懸浮微結構之快速製程平台研發
(2011)
徐文祥
;
HSU WENSYANG
;
國立交通大學機械工程學系（所）
可雙向作動之電熱式微致動器
(2000)
徐文祥
;
HSU WENSYANG
;
國立交通大學機械工程學系
含奈米粒子之金屬微元件的製程及機械特性研究
(2005)
徐文祥
;
HSU WENSYANG
;
交通大學機械工程系
透過添加奈米粒子所製作的奈米複材，由於是由兩種或兩種以上性質不同的物質組合而成，常可以彌補單一材料的缺點，產生原來材料所不具備的新特性。本研究群目前已成功將奈米鑽石粒子加入鎳電鍍液中製作鎳-鑽奈米複材，並應用在電熱式微致動器，我們發現鎳-鑽石奈米複合材料相較於純鎳金屬，在相同的位移輸出下可減少73％的輸入功率，熱膨脹係數並會隨著鑽石奈米粒子濃度而增加，並會提高硬度及楊式係數對密度比，故除了熱致動器外，應也適合應用在需要高頻振動之元件，本計畫即是想驗證此一想法，並將進一步研究添加不同種類奈米粒子，在不同粒徑與不同濃度下，對電鍍鎳-奈米複材機械特性的影響。另將製作共振式微機電元件，包含懸臂樑及靜電式梳狀致動器，以量測所製作鎳奈米複材共振元件之共振頻率變化，並進而希望確認鎳奈米複材所製作的元件在長時間操作下之可靠度。
壓力可變式阻尼器對汽門螺旋彈簧的影響
(1995)
徐文祥
;
HSU WENSYANG
;
國立交通大學機械工程研究所
微機電系統校際整合研究---子計畫六：蜂巢形撓性微型機構的設計
(1996)
徐文祥
;
HSU WENSYANG
;
國立交通大學機械工程學系
扭轉彈簧可變彈性機構的研發
(2000)
徐文祥
;
HSU WENSYANG
;
交通大學機械工程系
新型大伸展式微致動器的研究(I)
(2002)
徐文祥
;
HSU WENSYANG
;
交通大學機械工程系
新型高效率微致動器及其應用在微機電與微光機電系統之研究(I)
(2003)
徐文祥
;
HSU WENSYANG
;
國立交通大學機械工程學系
新型高效率微致動器及其應用在微機電與微光機電系統之研究(II)
(2005)
徐文祥
;
HSU WENSYANG
;
交通大學機械工程系