微機電系統校際整合研究---子計畫六：蜂巢形撓性微型機構的設計

Date

Authors

Keywords

微致動器 , 蜂巢型撓性微機構 , 撓性接頭 , 靜電力 , 微機制 , 半導體製程 , 多晶矽薄膜 , Microactuator , Honeycomb compliant micromechanism , Flexural joint , Electrostatic force , Micromachining , IC process , Polysilicon thin film

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=230190&docId=41824
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/95645

Collections

研究計畫;;Research Plans