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公開日期 | 標題 | 作者 |
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1998 | 由矽磊晶到極平整之超薄氧化層製作 | 林柏村; B. C. Lin; 蔡中; 荊鳳德; 陳文照; C. Tsai; Albert Chin; W. J. Chen; 電子研究所 |
2006 | 高含氮量的極薄含氮氧化層的再氧化行為以及高氮靠近含氮氧化層表面之介電層技術開發 | 賴瓊惠; Chiung-Hui Lai; 張國明; 林柏村; Kow-Ming Chang; Bo-Chun Lin; 電子研究所 |