Browsing by Author 潘 扶 民
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| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 2013 | 改善氮化鈦阻障層與鎢插塞之化學氣相沉積製程 以降低其電阻率之研究 | 林仲凱; Lin, Chung-Kai; 潘 扶 民; Pan, Fu-Ming; 工學院半導體材料與製程設備學程 |
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| 2013 | 改善氮化鈦阻障層與鎢插塞之化學氣相沉積製程 以降低其電阻率之研究 | 林仲凱; Lin, Chung-Kai; 潘 扶 民; Pan, Fu-Ming; 工學院半導體材料與製程設備學程 |