Browsing by Author 王志峰
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Issue Date | Title | Author(s) |
---|---|---|
2007 | 應用非線性D-EWMA控制器於電漿蝕刻製程控制 | 王志峰; Chih-Feng Wang; 李安謙; An-Chen Lee; 工學院精密與自動化工程學程 |
Issue Date | Title | Author(s) |
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2007 | 應用非線性D-EWMA控制器於電漿蝕刻製程控制 | 王志峰; Chih-Feng Wang; 李安謙; An-Chen Lee; 工學院精密與自動化工程學程 |