Browsing by Author Chia-shui Lin
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| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 2003 | 變壓耦合式電漿製程設備之先進設備控制 | 張朝雯; Chao-wen Chang; 林家瑞; Chia-shui Lin; 機械工程學系 |
| 2004 | 變壓耦合式電漿製程設備之蝕刻率批片控制 | 廖木生; Mu sheng Liao; 林家瑞; Chia-shui Lin; 機械工程學系 |
| 2007 | 顯影後關鍵尺寸之批次預測與控制 | 劉柏聖; Po-Sheng Liu; 林家瑞; Chia-shui Lin; 機械工程學系 |