Browsing by Author Dr. An-Chen LEE
Showing results 1 to 3 of 3
Issue Date | Title | Author(s) |
---|---|---|
2003 | 半導體與光電製程設備通訊模組之研究與開發 | 詹孟璋; Meng-Chang CHAN; 李安謙; Dr. An-Chen LEE; 機械工程學系 |
2005 | 應用動態模式最小變異控制器於先進微影製程控制 | 洪志明; Chih-Ming Hung; 李安謙; Dr. An-Chen LEE; 工學院精密與自動化工程學程 |
2004 | 結合遞迴最小平方動態模型調變及最小變異控制器進行PECVD機台先進製程控制 | 黃柏壽; Po-Shou HUANG; 李安謙; Dr. An-Chen LEE; 機械工程學系 |