Browsing by Author Liu Pak Tung
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| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 2005 | 壓力、轉速與研磨液流量對鎢金屬化學機械研磨製程中移除率及均勻度之影響 | 廖柏東; Liu Pak Tung; 陳家富; Chia-Fu Chen; 工學院半導體材料與製程設備學程 |
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| 2005 | 壓力、轉速與研磨液流量對鎢金屬化學機械研磨製程中移除率及均勻度之影響 | 廖柏東; Liu Pak Tung; 陳家富; Chia-Fu Chen; 工學院半導體材料與製程設備學程 |