Browsing by Author Tan Fu Lei
Showing results 1 to 8 of 8
| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 2001 | 二矽烷複晶矽薄膜及四氟化碳電漿預處理技術在製備薄氧化層之研究 | 李介文; Jam Wem Lee; 李崇仁; 雷添福; Chung_Len Lee; Tan Fu Lei; 電子研究所 |
| 1996 | 先進矽化鈦技術在超大型積體電路上之應用 | 黃正同; Huang, Cheng Tung; 雷添福; Tan Fu Lei; 電子研究所 |
| 1996 | 化學機械研磨在溝槽絕緣及複晶矽氧化層之應用 | 鄭俊一; Cheng, Juing-Yi; 雷添福; Tan Fu Lei; 電子研究所 |
| 1998 | 化學機械研磨技術和N2O退火對複晶矽氧化層特性之影響 | 陳建宏; Jian-Hong Chen; 雷添福; Tan Fu Lei; 電子研究所 |
| 2000 | 延遲烘烤效應與新開發聚焦圖像在深紫外光微影技術之應用 | 古進譽; Chin-Yu Ku; 雷添福; Tan Fu Lei; 電子研究所 |
| 1999 | 應用於ULSI成長氧化層前及化學機械研磨後的新溶液清洗 | 邱子寰; Tzu-Huan Chiu; 雷添福; Tan Fu Lei; 電子研究所 |
| 1999 | 氫氟酸氣態清洗及氮摻雜於閘極氧化層與複晶矽氧化層之應用 | 陳建亨; Jiann Heng Chen; 雷添福; 趙天生; Tan Fu Lei; Tien Sheng Chao; 電子研究所 |
| 2001 | 非晶矽覆蓋層形成超淺接面在奈米MOS元件之應用 | 溫凰君; Huang-Chun Wen; 雷添福; Tan Fu Lei; 電子研究所 |