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公開日期標題作者
2001ULSI 嵌入式銅導線之電解拋光平坦化研究黃志昌; Huang Chih-Chang; 馮 明 憲; 謝 嘉 民; Dr. Ming-Shiann Feng; Dr. Jia-Ming Shieh; 材料科學與工程學系
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