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| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 2011 | 反向式光罩與光源合成於光學微影解析度之提升 | 余瑞□; Yu, Jue-Chin; 余沛慈; Yu, Peichen; 光電工程學系 |
| 2012 | 應用最佳化辦法於反向式光罩修正以提升光學微影製程容忍度 | 蔡瀚賢; Tsai, Han-Hsien; 余沛慈; Yu, Peichen; 光電工程研究所 |
| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 2011 | 反向式光罩與光源合成於光學微影解析度之提升 | 余瑞□; Yu, Jue-Chin; 余沛慈; Yu, Peichen; 光電工程學系 |
| 2012 | 應用最佳化辦法於反向式光罩修正以提升光學微影製程容忍度 | 蔡瀚賢; Tsai, Han-Hsien; 余沛慈; Yu, Peichen; 光電工程研究所 |