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2011反向式光罩與光源合成於光學微影解析度之提升余瑞□; Yu, Jue-Chin; 余沛慈; Yu, Peichen; 光電工程學系
2012應用最佳化辦法於反向式光罩修正以提升光學微影製程容忍度蔡瀚賢; Tsai, Han-Hsien; 余沛慈; Yu, Peichen; 光電工程研究所
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