瀏覽 的方式: 作者 劉岳良
顯示 1 到 1 筆資料,總共 1 筆
公開日期 | 標題 | 作者 |
---|---|---|
1991 | 以CF□/CHF□/O□或CF□/NF□/O□對二氧化矽與經離子佈植的多晶矽之乾式蝕刻 | 劉岳良; LIU, YUE-LIANG; 龍文安; LONG, WEN-AN; 應用化學系碩博士班 |
公開日期 | 標題 | 作者 |
---|---|---|
1991 | 以CF□/CHF□/O□或CF□/NF□/O□對二氧化矽與經離子佈植的多晶矽之乾式蝕刻 | 劉岳良; LIU, YUE-LIANG; 龍文安; LONG, WEN-AN; 應用化學系碩博士班 |