Browsing by Author 湯毓哲
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| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 2012 | 有延遲時間的MOCVD製程反應腔體內部壓力控制系統的強健控制 | 湯毓哲; Tang, Yuh-Che; 李安謙; Lee, An-Chen; 機械工程系所 |
| 16-Feb-2015 | 用於金屬有機化學氣相沉積的真空壓力控制裝置 | 李安謙; 湯毓哲; 郭子瑋 |
| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 2012 | 有延遲時間的MOCVD製程反應腔體內部壓力控制系統的強健控制 | 湯毓哲; Tang, Yuh-Che; 李安謙; Lee, An-Chen; 機械工程系所 |
| 16-Feb-2015 | 用於金屬有機化學氣相沉積的真空壓力控制裝置 | 李安謙; 湯毓哲; 郭子瑋 |